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半導體清洗超純水設備制備工藝

更新時間:2012-05-02 點擊量:3105

    1、預處理系統(tǒng)→反滲透系統(tǒng)→中間水箱→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水對象

(≥15MΩ.CM)(傳統(tǒng)工藝)

    2、預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(

≥16MΩ.CM)(工藝)

    3、預處理→一級反滲透→加藥機(PH調(diào)節(jié))→中間水箱→第二級反滲透(正電荷反滲膜)→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌

器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水對象(≥17MΩ.CM)(工藝)

    半導體芯片清洗超純水設備出水水質(zhì)*符合美國ASTM純水水質(zhì)標準、我國電子工業(yè)部電子級水質(zhì)技術標準(18MΩ.cm、15MΩ.cm、

10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五級標準)、我國電子工業(yè)部高純水水質(zhì)試行標準、美國半導體工業(yè)用純水指標、日本集成電路水質(zhì)標準

、國內(nèi)外大規(guī)模集成電路水質(zhì)標準。

   公司設計、制造水處理凈化設備;主營:純水設備,去離子水設備,工業(yè)高純水設備,反滲透設備,軟化水設備,膠鹽水設備,除鹽水

設備,蒸餾水設備,工業(yè)高純水機,凈水機,離子交換設備,超純水設備,電子、醫(yī)藥、化工等行業(yè)工業(yè)純水設備,江、河、湖水凈化設

備等。

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