1、原水:可用自來水或普通蒸餾水或普通的去離子水為原料,水。
　　
　　2、機械過濾器:通過砂芯柱過濾濾板和纖維機械雜質,如鐵銹和其它懸浮物等
　　
　　3、活性炭過濾器:活性炭吸附劑、吸附廣泛,如煤氣成分的余氯等;吸附細菌以及一些過渡金屬等。氯的反滲透膜會損壞,所以應該努力固執。
　　
　　4、反滲透膜過濾器:可以過濾95%的電解質和大分子化合物,包括膠體粒子和病毒等。因為大多數離子,使離子交換柱的使用壽命大大延長。zui后一步也是超純水機制備zui重要的一個步驟，消除紫外線的流程，通過短波（紫外線照射分解水）不易被吸附的小的有機化合物,如甲醇、乙醇等,使其轉變成二氧化碳和水,以減少TOC的指標。
　　
　　超純水機zui重要的技術就是反滲透技術，日常生活中我們喝干凈的水是采用反滲透技術過濾凈化之后的。以便能達到要求,有利于人體飲用水身體健康。反滲透技術已經廣泛應用于食品工業多年。用途:用于乳品生產乳清蛋白粉和濃度對牛奶來降低運輸成本。反滲透是在范圍內為葡萄酒行業包括葡萄酒和果汁許多實踐,去除污染濃度;像煙霧和酸,去除酒精。水分蒸發,通過滲透膜將去除一些污染物，所以反滲透技術更能提現出超純水機的*性了。反滲透超純水機主要是由美國軍方使用的技術，當時軍事人員還在用它來提供飲用水。現在反滲透技術已被廣泛地應用于各行各業的水。